Dépôts des couches sensibles pour la détection des gaz par la technique SPRAY

Actuellement, l’identification sélective des gaz devient une tâche à la fois difficile et importante, à cause des mélangées de plusieurs espèces de gaz. Il est donc nécessaire de développer des capteurs de gaz sélectifs qui permettent aisément de confirmer ou d’infirmer la présence d’une substance cible par l’utilisation de films minces en tant qu’élément sensible dans le capteur de gaz.
Dans cette présentation, nous rapportons une des techniques utilisée pour réaliser ces films « Pyrolyse Spray ». La pyrolyse spray est une technique de dépôt chimique où les paramètres les plus importants sont les précurseurs, la concentration de la solution et la température. Cette technique présente des avantages de simplicité, de faible coût et de rendement.