MEMS-Based Micro Hot-Plate Devices And General Contribution

Dans ce travail, nous présentons l’étude par simulation COMSOL d’un dispositif de micro-chauffage intégré réalisé par la technologie microsystème afin de déterminer les paramètres géométriques et physiques du système.
La variation de la température, le stress et la déformation de la membrane sont étudiés en fonction de la tension d’attaque sur une plage allant de 0 à 2 V. Les résultats ont permis de déterminer l’intervalle de fonctionnement du dispositif et réévaluer certaines de ces proportions géométriques afin de garantir un fonctionnement sans risque de rupture du système.
Enfin, les étapes de fabrication d’un tel système en technologie MEMS et CMOS-MEMS sont présentés.