Formation en Gravure Sèche

La PTM offre une formation sur les outils de gravure sèche qui comprend une familiarisation avec la gravure sèche ainsi que le fonctionnement de l’équipement dans la salle blanche. La formation est destinée à tous les utilisateurs qui ont l’intention d’effectuer n’importe quel type de gravure sèche par plasma dans la salle blanche.

Programme de la formation :

1. Formation théorique :

La formation théorique est pour but de familiarisation avec les principes de la gravure sèche, savoir pourquoi et quand utiliser la gravure sèche, les paramètres de réglage pertinents dans la gravure, la nomenclature (unités de mesure,…etc.). la formation comprend les volets suivants :

• • • Présentation du principe de la gravure sèche
    • Description des paramètres de mesure
    • Les applications dans un procédé CMOS
    • Les paramètres de réglage pertinents dans la gravure
    • Présentation générale des équipements de gravure sèche.

Durée : 2 heures.

2. Formation pratique :

La formation pratique s’appuie sur l’utilisation des équipements en salle blanche elle comporte les points suivants :

• • • Vue d’ensemble des équipements de gravure
    • Utilisation des équipements par un exercice pratique :
    • Sélection une recette de gravure,
    • Gravure
    • Inspection (Microscopes optiques, profilomètre).

Durée : 5 heures.