التدريب على الليثوغرافيا الضوئية

الليثوغرفيا الضوئية هو عملية تحويل الأشكال الهندسية (نقل صورة القناع) على شريحة السيليكون مغطاة مسبقًا بغشاء محساس للضوء(الراتنجات الإيجابية) يسمى “المقاوم الضوئي” (Photoresist) . ويوضع فوق الشريحة قناع شفاف للضوء في المناطق المزمع زرعها بالإيونات أو عمل التماسات عندها. يُعرَّض بعدها القناع للضوء ويعالج المقاوم الضوئي كيميائياً معرِّضاً المساحات المناسبة.

تحتاج العملية لاستعمال ضوء عند طول موجة  365ميكرومتر  لأن دقة الليثوغرافيا الضوئية تحددها خواص الضوء. وتتحدد دقة الأجهزة الضوئية بمسافات توافق تقريباً طول موجة الضوء المستعمل لمشاهدة الجسم .يخضع الراتنج ، تحت تأثير الأشعة فوق البنفسجية ، إلى تحول كيميائي يتحلل (الراتنجات الإيجابية) في مقاومته لحلول التطوير. تكون رقاقة السيليكون بعد ذلك جاهزة لعمليات الحفر أو زرع الأيونات .

يتم توفير التدريب النظري على الليثوغرافيا الضوئية من قبل المهندسين من منصة التصنيع الدقيق (PTM). إنه يشمل مختلف خطوات الفثوليثوغرافيا مثل تحضير رقاقة ، وضع راتنج حساس لللأشعة فوق البنفسجية ، التعرض للأشعة فوق البنفسجية وتطوير الراتنج  ، بالإضافة إلى اختبارات الفحص المرتبطة بمختلف الخطوات.

برنامج التدريب :  

.1التدريب النظري :

سوف تقدم درس يشرح  مفهوم الليثوغرافيا الضوئية ويصف خطوات عملية الليثوغرافيا الضوئية.

• ترسيب الراتنج حساس للضوء ،
• طلاء الركيزة ، ، محاذاة الركيزة والقناع. يجب إجراء هذه العملية بأكبر قدر من الدقة.
• مرحلة التعريض التي يتعرض خلالها الراتنج للأشعة فوق البنفسجية (UV). عندئذ يكون للمطور دور تعريض الجزء من الركيزة المراد هيكلة ، لأنه ، تحت تأثير الأشعة فوق البنفسجية ، تتباين قابلية الذوبان للراتنج:
• في حالة ما يسمى بالراتنجات السالبة ، فإنه يقلل ويسبب البلمرة وكذلك مقاومة خاصة للكشف عن المناطق المكشوفة.
• في حالة ما يسمى بالراتنجات الإيجابية ، يؤدي التعرض للأشعة فوق البنفسجية إلى تمزق الجزيئات الكبيرة ويؤدي إلى زيادة الذوبان في المناطق المعرضة للمذيب

البرنامج كالتالي:

• مقدمة لمفهوم الغرفة النظيفة ووصف غرفة الليثوغرافيا الضوئية.
• مبدأ وأنواع الليثوغرافيا الضوئية.
• مكونات الليثوغرافيا الضوئية.
• تقنيات الليثوغرافيا و عملية الليثوغرافيا الضوئية.
• الليثوغرافيا الضوئية بالعدسات.

المدة: نصف يوم

 .2 التدريب العملي:

يعتمد التدريب العملي على استخدام معدات الليثوغرافيا الضوئية المتاحة في الغرفة النظيفة للخطوات التالية:

• إعداد الرقاقة و وضع المادة المساعدة للإلتصاق المعدات اللازمة HMDS OVEN YES 6112 :
• وضع ونشر راتنج حساس للضوء طلاء بالدوران , المعدات اللازمةDual Coat/Develop SVG8800: Track
• محاذاة و تعريض الراتنج الحساس للأشعة فوق البنفسجية / I- خط 365 ميكرون, المعدات اللازمة:DSW GCA Stepper 8000
• تطوير الراتنج الحساس للأشعة, المعدات اللازمة:    Dual Coat/Develop SVG8800 Track
• المدة: نصف يوم