Plateforme de Microsystème Electromécanique

La mise en place de la Plateforme de Microsystèmes Electromécaniques MEMS a but de permettre la promotion et le développement des technologies de micro-fabrication nécessaire à la réalisation et la fabrication des MEMS. La plateforme vient en appui du développement des dispositifs miniaturisés, en offrant des prestations de service et des formations sur les dispositifs miniaturisés MEMS au profit des étudiants, doctorants et du personnel de la recherche et de l’enseignement supérieur ainsi que le secteur socioéconomique.

La mission principale de la plateforme des microsystèmes électromécaniques MEMS est la fabrication des dispositifs miniaturisés MEMS tels que les capteurs et les actionneurs. Ceci passe par la prise en charges des techniques liées à la micro-fabrication et la caractérisation des dispositifs MEMS, notamment, fabrication de prototypes, caractérisation spécifique des microstructures, conception et assistance.

L’activité actuelle, regroupe toutes les techniques utilisables pour la réalisation des micro-dispositifs selon les équipements disponibles actuellement, ainsi que différentes demandes pour l’utilisation des équipements de la plateforme.

Les dispositifs et les techniques concernés par la réalisation au niveau de la plateforme sont:

• Réalisation des structures MEMS de base (poutres, ponts et membranes),
• Dépôt des couches sensibles pour capteurs à gaz (ZnO, SnO₂, etc.) et polymères,
• Réalisation des dispositifs à peignes inter-digitées,
• Réalisation des dispositifs micro-fluidiques et dépôt des polymères,
• Electrodéposition pour réalisation des structures MEMS,
• Gravure humide et électrochimique des substrats en silicium.

La plateforme est repartie en trois zones :

• Zone d’entrée SAS
• Zone process & caractérisation
• Zone chimie générale.

Dr. Yamna Bakha
Email : ybakha@cdta.dz