Organigramme de la plateforme de Microsystèmes Electromécaniques

Process & Caractérisation

Process & Caractérisation

Cette zone contient les techniques des procédés physiques et les méthodes de caractérisations spécifiques pour la fabrication et la réalisation des dispositifs MEMS.

Chimie Générale

Chimie Générale

Cette zone comporte les techniques et procédés chimiques entrant dans la fabrication et réalisation des dispositifs MEMS.