Process & Caractérisation Cette zone contient les techniques des procédés physiques et les méthodes de caractérisations spécifiques pour la fabrication et la réalisation des dispositifs MEMS. La zone process & caractérisation est constituée des équipements suivants : Tables d’électronique générale, Equipements pour la caractérisation électronique, Four d’oxydation MTI1200, Profilomètre Dektak, Microscopes optiques, Banc de détection des gaz, Banc de caractérisation des microstructures mécaniques (en développement). Zone physique Tables et équipements d’électronique générale Four d’oxydation Profilomètre mécanique Microscopes optique Banc de détection des gaz
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