Process & Caractérisation

Cette zone contient les techniques des procédés physiques et les méthodes de caractérisations spécifiques pour la fabrication et la réalisation des dispositifs MEMS.

La zone process & caractérisation est constituée des équipements suivants :

  • Tables d’électronique générale,
  • Equipements pour la caractérisation électronique,
  • Four d’oxydation MTI1200,
  • Profilomètre Dektak,
  • Microscopes optiques,
  • Banc de détection des gaz,
  • Banc de caractérisation des microstructures mécaniques (en développement).

Zone physique

Tables et équipements d’électronique générale

Four d’oxydation

Profilomètre mécanique

Microscopes optique

Banc de détection des gaz