Process & Caractérisation

Cette zone contient les techniques des procédés physiques et les méthodes de caractérisations spécifiques pour la fabrication et la réalisation des dispositifs MEMS.

La zone process & caractérisation est constituée des équipements suivants :

• Tables d’électronique générale,
• Equipements pour la caractérisation électronique,
• Four d’oxydation MTI1200,
• Profilomètre Dektak,
• Microscopes optiques,
• Banc de détection des gaz,
• Banc de caractérisation des microstructures mécaniques (en développement).